| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Design elements of microsystems technology | Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 467797 | ||
| Mikrotechnische Konstruktion | Fach-/Modulprüfung | 6 | 452561 | |||
| Introduction to Micro Systems Technology | Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 454218 | ||
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Vorlesung | 447553 | ||||
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Übung | 448404 | ||||
| Microsystem Design | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 467796 | ||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 453499 | |||
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | 446880 | Mi 12:00-16:00 Extern (×10) Mi 12:30-16:00 Extern (×2) | |||
| Microsystems development | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 467796 | ||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 453499 | |||
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | 446880 | Mi 12:00-16:00 Extern (×10) Mi 12:30-16:00 Extern (×2) | |||
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | 446880 | Mi 12:00-16:00 Extern (×10) Mi 12:30-16:00 Extern (×2) | |||
| Microtechnical Design | Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 467797 | ||
| Mikrotechnische Konstruktion | Fach-/Modulprüfung | 6 | 452561 | |||
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 452620 | ||
| Ultrapräzisionstechnik I | Vorlesung/Übung | 448042 | ||||
| Ultra-Precision Technology II | Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 452801 |